Teledyne公司的DV-4和DV-6熱電偶真空計管,生產(chǎn)具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,準(zhǔn)確性和在苛刻條件下的可靠性真空測量設(shè)備。這些真空傳感器校準(zhǔn)的氮?dú)饣蚩諝?對其他氣體換算系數(shù)是由工廠提供。
VT系列測量儀表需單獨(dú)購買:VT4系列, VT5系列, VT6系列
DV-6
Teledyne Hastings熱偶規(guī)管真空計DV-4D
特性 |
•現(xiàn)場使用的可靠性 •量程- 0.001托- 1托 (1 - 1000毫托) •控制點(diǎn)可選 |
附件 |
•NIST的的溯源的儀表校準(zhǔn)規(guī)管 •快速連接 •裝置和過濾器 •延長電纜 |
應(yīng)用 |
•研究與開發(fā) 半導(dǎo)體工藝 •等離子鍍膜/濺射 •低溫罐/杜瓦瓶 •真空爐 •二次灌注氣瓶 •負(fù)載鎖 •照明/霓虹燈招牌 •化學(xué)加工 |
熱偶規(guī)管(傳感器)
規(guī)格 | DV-4 系列熱偶規(guī) | DV-5 系列熱偶規(guī) | DV-6 系列熱偶規(guī) |
配置測量器/讀數(shù)儀 | VT-4 | VT-5 | VT-6 |
儀表校準(zhǔn)規(guī) | DB-16D | DB-18 | DB-20 |
量程 | 0.01 - 20 Torr (100 - 20,000 mTorr) | 0.0001 - 0.1 Torr (0.1 - 100 mTorr) | 0.001 - 1 Torr (1 - 1,000 mTorr) |
敏感區(qū)間 | 0.2 - 5 Torr (200 - 5000 mTorr) | 0.0001 - 0.1 Torr (0.1 - 100 mTorr) | 0.001 - 1 Torr (10 - 200 mTorr) |
響應(yīng)時間(秒)大氣壓- 0 | 0.16 | 25 | 2.9 |
響應(yīng)時間(秒)0 – 大氣壓 | 0.04 | 0.8 | 0.06 |
系列成員 | | | |
標(biāo)準(zhǔn)型 | DV-4D | DV-5M | DV-6M |
加固型 | DV-4R | - | DV-6R |
VCR | DV-4D-VCR | DV-5M-VCR | DV-6M-VCR |
VCRL (長) | - | - | DV-6M-VCRL |
KF-16 | DV-4D-KF 16 | - | DV-6M-KF16 |
KF-25 | DV-4D-KF 25 | - | DV-6M-KF 25 |
小型 Conflat | - | - | DV-6M-CF |
高溫型 | DV-34 | - | DV-36 |
加固/抗震帶室外防護(hù)殼 | - | - | DV-6S |
耐熱玻璃 | - | - | DV-20 |
約重 | 0.1-0.2 Lbs(45-91g) 根據(jù)不同型號 | 0.1-0.2 Lbs(45-91g) 根據(jù)不同型號 | 0.1-0.3 Lbs(45-13.6g) 根據(jù)不同型號 |
NALL系列質(zhì)量流量計 量程從0-10 sccm至0-14,000slm 特征: ◆ 耐高溫到200攝氏度 ◆ 不銹鋼結(jié)構(gòu) ◆ 防腐蝕蒙乃爾可供選擇 ◆ 滿量程范圍:0-10 sccm至0-14,000slm ◆ 工作壓力到1000psig ◆ 密封傳感器 ◆ 15段流量范圍 ◆ 20%溫度或壓力變化無需校正 ◆ Hastings原創(chuàng)質(zhì)量流量測量器 精度:±1%量程(壓力和溫度變化20%)線性度:1%量程重復(fù)精度:±0.25% 滿量程溫度:氣體溫度-20°C至 100°C,轉(zhuǎn)換器和指示器的環(huán)境溫度0°C 至 40°C電源:115伏交流電,50/60赫茲- 15瓦。對于230伏,電源型號添加“E”字的輸出:0-5伏直流負(fù)載2000歐姆或更大。材質(zhì):316SS,或者蒙乃爾銅鎳合金,金/鎳釬焊校準(zhǔn):直讀是空氣。訂購時可以選擇氧氣、氮?dú)?、氦氣、二氧化碳、等其他氣體校準(zhǔn)響應(yīng)時間:
TELEDYNE HFM/HFC -D-300流量計
300 - D系列質(zhì)量流量儀器,量程從0-5 sccm至0-3,000slm;使用全金屬密封,提供模擬輸出,且采用不銹鋼構(gòu)造。質(zhì)量流量控制器為常閉閥門。腐蝕性氣體(除鹵素外),壓差達(dá)1000 PSIG中(選項)可輕松測量。 傳感器,閥門和流量過載等自我診斷功能都包括在數(shù)字特征里面。同樣值得關(guān)注的是自動歸零特點(diǎn),當(dāng)發(fā)現(xiàn)閥門關(guān)閉時會自動重置零點(diǎn)。此系列質(zhì)量流量計和控制器,多可以存儲10個不同的量程范圍和氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。當(dāng)測量同數(shù)量級(流速,分子量)不同的氣體,改變氣體時,本儀器具備經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢和更率。另一個特點(diǎn)是內(nèi)置的累加器,用于監(jiān)測用戶設(shè)置的條件下氣體損耗量。 特征: •+/-(0.5%讀數(shù)值+ 0.2%滿量程)為0 - 2,500slm •經(jīng)驗證的可靠性 •量程5 sccm至3,000slm(氮?dú)? •NIST可溯源校準(zhǔn) •內(nèi)置積算器 •自動歸零 應(yīng)用: •大學(xué)研究 •泄漏檢測 •氣相沉積 •制藥制程 •研發(fā)和制程流量 •半導(dǎo)體工藝 •氣體混合 •熱火焰噴涂 •真空應(yīng)用中的關(guān)鍵配件 300-D系列質(zhì)量流量計和控制器規(guī)格(基于氮?dú)? 標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力- 0 ° C和760Torr [table] [tr] [td] 規(guī)格 [/td] [td] 質(zhì)量流量計控制器 HFM-D-300 HFC-D-302 [/td] [td] 質(zhì)量流量計控制器 HFM-D-301 HFC-D-303 [/td] [td] 質(zhì)量流量計控制器 HFM-D-305 HFC-D-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 使用手冊 [/td] [td] HFM-D-300 / HFC-D-302 [/td] [td] HFM-D-301 / HFC-D-303 [/td] [td] HFM-D-305 / HFC-D-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 量程 [/td] [td] 0-5 sccm 到 0-25,000 sccm [/td] [td] 0-25 slm 到 0-1000 slm [/td] [td] 0-1000 slm 到 0-3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 精度 [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) +/-2% 滿量程for 2,500 - 3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 重復(fù)精度 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [/tr] [tr] [td] 標(biāo)準(zhǔn)工作壓力 [/td] [td] 500 psig(約3.4MPa) [/td] [td] 500 psig(約3.4MPa) [/td] [td] 500 psig(約3.4MPa) [/td] [/tr] [tr] [td] 壓力系數(shù) [/td] [td] +0.01%/psi(約6800Pa)讀數(shù)值 (0-50 psig N2) 典型 [/td] [td] +0.01% 讀數(shù)值/ps(約6800Pa)i (0-1000 psig N2) 典型 [/td] [td] +0.015%/psi(約6800Pa)(0-500 psig N2) [/td] [/tr] [tr] [td] 耐壓選項 [/td] [td] 1000 psig (測試達(dá)到1500 psig) [/td] [td] 1000 psig [/td] [td] 無 [/td] [/tr] [tr] [td] 溫度系數(shù) [/td] [td] 零點(diǎn)
